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泰克2651A大功率系統(tǒng)數(shù)字源表Keithley 2650 系列高功率 SourceMeter® SMU 儀器2650 系列大功率 SourceMeter SMU 儀器專為高電壓/電流電子產(chǎn)品和功率半導(dǎo)體元件(例如二極管、FET 和 IGBT、高亮度 LED、直流至直流轉(zhuǎn)換器、電池、太陽能電池及其他高功率材料、組件、模塊和部件)的檢定和測試而設(shè)計。 它們提供*的功率、精度、速度、靈活
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子 |
泰克2651A大功率系統(tǒng)數(shù)字源表
大功率2651A 型數(shù)字源表進一步豐富了2600A 系列產(chǎn)品。該源表專門針對大功率電子器 件的特性分析和測試而優(yōu)化設(shè)計,可幫助用戶在研發(fā)、可靠性及生產(chǎn)領(lǐng)域提高生產(chǎn)力,包 括高亮度LED、功率半導(dǎo)體、DC/DC 轉(zhuǎn)換器、電池,以及其他大功率材料、元件、模塊 和組件的特性分析和測試。
與2600A 系列產(chǎn)品的每個成員一樣,2651A 具有高靈活性、四象限電壓和電流源/負載, 組合了精密電壓和電流表。該源表可作為:
• 半導(dǎo)體特征分析儀
• 電壓或電流波形發(fā)生器
• 電壓或電流脈沖發(fā)生器
• 精密電源
• 真電流源
• 數(shù)字多用表(直流電壓,直流電流,電阻和功率,分辨率達5½位)
• 精密電子負載
2651A 型可輸出或吸入高達±40V 和50A。
主要特性:
• 源或阱:
- 2,000W脈沖功率(±40V,±50A);
- 200W直流功率(±10V@±20A、±20V@±10A、±40V@±5A)
• 方便地連接兩個單元(串聯(lián)或并聯(lián))形成±100A 或±80V 解決方案
• 1pA 分辨率,可精密測量極低的漏電流
• 1μs/點(1MHz),連續(xù)18 位A/O 轉(zhuǎn)換器,精確的瞬態(tài)特性分析
• 1%至100%脈沖占空比,適用于脈寬調(diào)制(PWM)驅(qū)動型器件和特殊驅(qū)動類型期間的激勵
• 組合了精密電壓源、電流源、數(shù)字多用表、任意波形發(fā)生器、電壓或電流脈沖發(fā)生器及測量、電子負載及觸發(fā)控制器——多功能一體的儀器
• 包括TSP®Express 特性分析軟件、LabVIEW®驅(qū)動,以及吉時利的Test Script Builder(測試腳本編輯器)軟件開關(guān)環(huán)境。
典型應(yīng)用:
• 功率半導(dǎo)體、HBLED 和光器件特性分析和測試
• GaN、SIC 及其他復(fù)合材料和
器件的特性分析
• 半導(dǎo)體結(jié)溫度特性分析
• 高速、高精度數(shù)字化
• 電遷移研究
• 大電流、大功率器件測試
兩種測量模式:數(shù)字化或積分
2651A 型有兩種測量模式可對瞬態(tài)和穩(wěn)態(tài)行為進行精密地特性分析,包括快速變化的熱 效應(yīng)。每種模式均由其獨立的模/數(shù)(A/D)轉(zhuǎn)換器定義。
在數(shù)字化測量模式下,連續(xù)進行1μs/點采樣,每秒可捕獲1,000,000 個讀數(shù)。其18 位 A/D 轉(zhuǎn)換器使用戶能夠精密測量瞬態(tài)特性。對于更準(zhǔn)確的測量,可利用基于22 位A/D 轉(zhuǎn) 換器的積分測量模式。全部2600A 系列儀器均具有積分測量模式。
每種測量模式下使用兩個A/D 轉(zhuǎn)換器(一個 用于電流,另一個用于電壓),可同時運行 用于準(zhǔn)確源讀回,不會影響測試效率。
雙數(shù)字化A/D 轉(zhuǎn)換器以高達1μs/點速率進行連 續(xù)采樣,同時對電流和電壓波形進行特性分析。
高速脈沖
2651A 型能夠準(zhǔn)確輸出和測量短至100μs 的脈沖,將測試期間的自熱效應(yīng)影響降至 低。更大的控制靈活性使用戶能夠在 100μs 至DC 范圍內(nèi)編程脈寬,在1%至 100%范圍內(nèi)編程占空比。單臺儀器可輸出 高達50A 電流脈沖,兩臺組合可輸出高達 100A 電流脈沖。
擴展能力
利用TSP-Link®,可將多臺2651A 和其 他2600A 系列儀器組合在一起,形成 多64 路通道的更大集成系統(tǒng)。利用內(nèi)置 500ns 觸發(fā)控制器,確保精密定時和嚴 格通道同步。源表儀器的*隔離、獨 立通道確保了真正的SMU-per-pin 測試。
吉時利的TSP 和TSP-Link 技術(shù)確保實現(xiàn)真 正的SMU-per-pin 測試,不存在基于主機系 統(tǒng)的功率和/或通道限制。
此外,兩臺2651A 型采用TSP-Link 并 聯(lián)時,電流量程從50A 擴展至100A。 當(dāng)兩個單元串聯(lián)時,電壓范圍從40V 擴 展至80V。內(nèi)置智能特性使多個單元可 作為單臺儀器進行尋址,簡化了測試, 由此形成業(yè)內(nèi)*的動態(tài)范圍(100A 至 1pA)。這種能力確保用戶可測試各種各 樣的功率半導(dǎo)體和其他器件。
高達50A (2 個單元可達100A)的精密測量確 保更完善和準(zhǔn)確的特性分析。
1μV 測量分辨率和高達50A (2 個單元可達 100A)的電流源輸出確保低電平Rds 測量,支 持新一代器件。
2600A 系列儀器的標(biāo)準(zhǔn)能力
每款2651A 均具備其他2600A 系列儀器 提供的全部特性和能力,包括:
• 既可作為臺式I-V 特性分析工具,又可 作為多通道I-V 測試系統(tǒng)的組成部分。
• 無需編程或安裝,TSP Express 軟件 即可快速、簡便地執(zhí)行常見的I-V 測試。
• ACS 基本版軟件,用于半導(dǎo)體元器件 特性分析(選件)。ACS 基本版軟件現(xiàn) 在具備一種Trace 模式,用于產(chǎn)生一 套特性曲線。
• 吉時利的TSP®(測試腳本處理器)軟件, 能夠創(chuàng)建用戶自定義測試腳本,實現(xiàn) 自動化程度更高的測試,并且支持創(chuàng) 建編程序列,使儀器在沒有PC 直接控 制的情況下異步工作。
• 多臺2600A 系列儀器連接在一個系統(tǒng) 中,實現(xiàn)并行測試和精密定時。
• 符合LXI class C 標(biāo)準(zhǔn)。
• 14 位I/O 線,與探針臺、元件裝卸裝 置或其他自動化工具直接交互。
• USB 端口,利用USB 存儲裝置實現(xiàn)更 大的數(shù)據(jù)和程序存儲空間。
泰克2651A大功率系統(tǒng)數(shù)字源表
電壓準(zhǔn)確度
源 | 測量 | ||||
量程 | 編程分辨率 | 準(zhǔn)確度±(% 讀數(shù)電流) | 顯示分辨率 | 積分ADC 準(zhǔn)確度±(% 讀數(shù)+電壓) | 高速ADC 準(zhǔn)確度±(% 讀數(shù)+電壓) |
100.000 mV | 5 μV | 0.02% + 500 μV | 1 μV | 0.015% + 300 μV | 0.015% + 600 μV |
1.00000 V | 50 μV | 0.02% + 500 μV | 10 μV | 0.015% + 300 μV | 0.015% + 600 μV |
10.0000 V | 500 μV | 0.02% + 5 mV | 100 μV | 0.015% + 3 mV | 0.015% + 8 mV |
20.0000 V | 500 μV | 0.02% + 5 mV | 100 μV | 0.015% + 3 mV | 0.015% + 8 mV |
40.0000 V | 500 μV | 0.02% + 12 mV | 100 μV | 0.015% + 8 mV | 0.015% + 15 mV |
其他源技術(shù)指標(biāo)
噪聲(10Hz–20MHz):<100mV 峰-峰值(典型 值),<30mV RMS (典型值)。
過沖:電壓:<±(0.1% + 10mV)(典型值)。
電流:<±0.1%(典型值)。
遠端檢測工作范圍:
HI 和SENSE HI 之間的大電壓 = 3V。
LO 和SENSE LO 之間的大電壓 = 3V。
電壓源輸出建立時間:<50μs *量程。
電流源輸出建立時間:<80μs *量程。
每路源引線的大阻抗:大阻抗受限于遠端
檢測工作范圍的3V 壓降。
大電阻 = 3V/源電流值(A)。
3V = L di/dt。
其他測量技術(shù)指標(biāo)
大負載阻抗:
常規(guī)模式:10nF(典型值),3μH(典型值)。
大電容模式:50μF(典型值),3μH(典型值)。
測量輸入阻抗:>10GΩ。
共模電壓:250 VDC。
接觸檢查:內(nèi)置。
功率技術(shù)指標(biāo)
大輸出功率和源/阱限值:
電壓 | 電流 |
202 W,大 | 202 W,大 |
±10.1 V @ ±20.0 A | ± 5.05 A @ ± 40 V |
±20.2 V @ ±10.0 A | ± 10.1 A @ ± 20 V |
±40.4 V @ ± 5.0 A | ± 20.2 A @ ± 10 V |
四象限輸出或吸入操作。 | 四象限輸出或吸入操作。 |
電流和電壓量程擴展:兩臺2651A 可通過串聯(lián)或并聯(lián)擴展某些應(yīng)用下的工作量程和功率性能。
>
有源負載操作:注意:當(dāng)2651A 配合另一臺系統(tǒng)源表儀器或其他任何有源負載工作時,需要將2651A 的輸出關(guān)閉 模式設(shè)置為“OUTPUT_ACTIVE_LOAD”。更多詳細信息請參考2651A 的參考手冊。
脈沖技術(shù)指標(biāo)
小可編程脈寬:100μs。 脈寬編程分辨率:1μs。 從脈沖起點至關(guān)閉時間起點測得:
小脈沖上升時間:
電流量程 | 負載電阻 | 上升時間(典型值) |
50 A | 0.05 Ω | 25 μs |
50 A | 0.2 Ω | 57 μs |
50 A | 0.4 Ω | 85 μs |
20 A | 0.5 Ω | 90 μs |
50 A | 0.8 Ω | 120 μs |
20 A | 1 Ω | 180 μs |
10 A | 2 Ω | 330 μs |
5 A | 8 Ω | 400 μs |
占空比:1%–100%
測量速度技術(shù)指標(biāo)
大掃描速率(操作/秒),60Hz (50Hz):
A/D 轉(zhuǎn)換器速 度 | (操作/秒),6 | 0Hz (50Hz): 用戶腳本測量至 存儲器 | 用戶腳本測量至 | 用戶腳本源測量至 | 用戶腳本源測量 | 掃描 API 源測量 | 掃描 API 源測量 |
0.001 NPLC | 內(nèi)部 | 20000 (20000) | 10000 (10000) | 7000 (7000) | 6200 (6200) | 12000 (12000) | 5900 (5900) |
0.001 NPLC | 數(shù)字 I/O | 8100 (8100) | 7100 (7100) | 5500 (5500) | 5100 (5100) | 11200 (11200) | 5700 (5700) |
0.1 NPLC | 內(nèi)部 | 580 (480) | 560 (470) | 550 (465) | 550 (460) | 560 (470) | 545 (460) |
1.0 NPLC | 內(nèi)部 | 59 (49) | 59 (49) | 59 (49) | 59 (49) | 59 (49) | 59 (49) |
HS ADC | 內(nèi)部 | 38500 (38500) | 20000 (20000) | 10000 (10000) | 9500 (9500) | 14300 (14300) | 6300 (6300) |
大單次測量速率(操作/秒),60Hz (50Hz):
A/D 轉(zhuǎn)換器速度 | 觸發(fā)源 | 測量至 GPIB | 源輸出測量至 | 源輸出測量合格/不合格 |
0.001 NPLC | 內(nèi)部 | 1900 (1800) | 1400 (1400) | 1400 (1400) |
1.0 NPLC | 內(nèi)部 | 58 (48) | 57 (48) | 57 (48) |
大測量量程變化:143 μs
大源量程變化:2.5 ms
大源功能量程變化:1.0 ms
高速ADC 脈沖串測量速率:
脈沖串長度(讀數(shù)) | 讀數(shù)/s | 脈沖串/s |
100 | 1M | 400 |
500 | 1M | 80 |
1000 | 1M | 40 |
2500 | 1M | 16 |
5000 | 1M | 8 |
觸發(fā)和同步技術(shù)指標(biāo)
觸發(fā):觸發(fā)輸入至觸發(fā)輸出:0.5μs,典型值。
同步:單或多節(jié)點同步源變化:<0.5μs,典型值。
編程
測試腳本編輯器(TSB):集成開發(fā)環(huán)境,用于創(chuàng)建、運行和管理TSP 腳本。
TSP Express(嵌入式):無需編程或安裝,即可快速、簡便地執(zhí)行常見的IV 測試。
其他軟件接口:TSP Express(嵌入式)、Direct GPIB/VISA、Read/Write, 利用VB、VC/C++、VC#、LabVIEW、LabWindows/CVI 等讀/寫。
系統(tǒng)擴展
利用TSP-Link 擴展接口,使支持TSP 的儀器之間能夠進行觸發(fā)和通信。
通用技術(shù)指標(biāo)
USB:USB 2.1 主機控制器,支持外部數(shù)據(jù)存儲。
接觸檢查:1ms 小測量時間;5%基本準(zhǔn)確度。
PC 接口:IEEE-488.1 和.2;LXI Class C Ethernet;RS-232。
數(shù)字I/O 接口:輸入/輸出引腳:14 位 I/O。大5.25V。
電源:100 V 至250 VAC,50 Hz – 60 Hz(自動檢測),大550 VA
制冷:強制風(fēng)冷。側(cè)面和頂部吸入,后背板排出。
EMC:符合歐盟EMC 指令。
安全:UL 認證,符合UL61010-1:2004 標(biāo)準(zhǔn)符合歐盟低電壓指令。
質(zhì)保:1 年。
尺寸:89mm 高× 435mm 寬× 549mm 深(3.5 in × 17.1 in × 21.6 in)。臺式配置(含把 手和支腳):104mm 高× 483mm 寬× 620mm 深(4.1 in × 19 in × 24.4 in)
重量:9.98kg (22 lbs).
環(huán)境:僅限室內(nèi)使用。
校準(zhǔn)周期:1 年。